采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜。
用射频溅射的方法制备得的钆钴膜具有垂直于膜面的单轴各向异性。
为改善射频溅射法制备的防水透湿涂层的外观和拒水性，对涤纶织物基底上的溅射氟碳高分子膜的泛黄问题进行了研究。
在不同的衬底温度下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。
采用射频溅射制备BST薄膜，研究了薄膜的介电击穿特性。
利用磁控射频溅射技术制备了ITO薄膜。
射频溅射沉积的薄膜均匀性和致密性要优于直流溅射沉积的薄膜。
本文用光谱分析的方法研究低温反应射频溅射生长的A1N薄膜。
在不同条件下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。